Hsin-Hua Hu

  • 博士畢業論文：
    Design Fabrication and Testing of a Novel (111) Single-Crystal -Silicon Accelerometer
  • Interest嗜好：彈琴唱歌、游泳、旅行、閱讀

    經歷

  • Part-time Engineer, Corporate (華新麗華微系統事業部), April. 2002 ~ April. 2003
  • Part-time Engineer, Industrial Technology Research Institute(工研院), July. 2001 ~ Mar. 2002;
  • Research Assistant, Asia Pacific Microsystems Inc., May. 2001 ~ Oct. 2002
  • Research Assistant, Metrodyne Microsystem Corporate, April. 2000 ~ Dec. 2001
  • Research Assistant, Precision Instrument Development Center of National Council (精密儀器發展中心), Sep. 1996 ~ June 1998
  • 清大動機系機械工程實驗助教(1997年上下學期、1999年上下學期)
  • 清大材料力學二助教(1997年上學期、1999年上學期)
  • 清大振動學助教(2000年上下學期、2001年下學期)
  • 清大微系統導論助教(1997年下學期、1998年下學期、1999年下學期)
  • 微機電系統分析與量測助教(2000年上學期)
  • 泳渡日月潭;北一女中儀隊;國科會數學資優生(81學年度)
  • 技術專長
  • 長膜：高溫爐管熱氧化、濺鍍系統、PECVD、擴散退火;微影：單面對準機、雙面對準機、一般光阻製程、厚光阻製程;蝕刻：Si非等向性蝕刻、等向性濕蝕刻、乾式蝕刻、RIE、ICP-DRIE;檢測：干涉儀、橢圓測厚儀、nano spec、α-stepper、四點探針、薄膜應力量測儀;一般量測儀器：示波器, 頻譜分析儀, 波形產生器, 放大器, multimeter、Optical microscope, intererimetric OM, machine OM, SEM, FESEM、三次元表面干涉儀(Wyko), accelerometer, 雷射都卜勒量測系統 (Polytec & Graphtek);應用軟體：ANSYS、Matlab、Mathcad、AutoCad、L-edit、MEMCAD;設備架設：三次元表面干涉儀(Wyko)、SEM (Jeol)、Wet chemical bench、Precision measurement laboratory
  • 學術專長
  • 微機電系統(MEMS)：薄膜材料殘餘應力分析與量測、微加速計設計、(111)基材製程設計、溼式蝕刻;機械固力：系統動態分析、材料力學、有限元素分析