動態量測儀器

• LDV雷射都卜勒
  量測系統
• Polytec
• Shaker in-
  strument (LDS)
• Rate table
  instrument
• Lynceetec

靜態量測儀器

• 膜厚量測系統
• AFM
• 光學顯微鏡
• SEM
• LCR meter
  及探針台
• 網路分析儀
• 真空腔
• 白光干涉儀
• 紅外線熱像儀
• Manual Flip-Chip bonder
• 白光干涉儀(ZYGO)
• 雷射共軛焦顯微鏡(Keyence)
• 正立金相顯微鏡(Olympus)

製程儀器

• 化學氣相
  沈積系統
• Parylene
  沈積系統
• E gun
  真空鍍膜機
• 電鍍系統

化學氣相沈積系統

Deposited CNT’s

Parylene沈積系統

Deposited parylene