吳名清

  • 現職：Globel MEMS Co.Ltd
  • 博士畢業論文：The Development of Optical MEMS Fabrication Platform - the case of Micro Scanning Mirror Driven by Electrostatic Comb - drive Actuator
  • 學歷：
  • 國立清華大學動力機械工程所
  • 國立清華大學動力機械工程所
  • 國立清華大學動力機械工程系
  • 經歷：
  • 清大動機系微系統科技應用簡介
  • 清大動機系微機電系統導論
  • 微光調變元件之結構分析設計與元件性能檢測
  • 微虛擬實境系統之設計分析製造與測試之子計劃二---微光掃瞄元件之設計分析製造與測試
  • 微光機電元件之晶圓級封裝測試與製程整合技術開發
  • 經濟部工研院光電所產學研合作委託計畫---光學微機電技術;經濟部學界科專---微光電系統晶片研發計畫
  • 技術專長：
  • 長膜：高溫爐管、低壓氣相化學沈積系統LPCVD
  • 微影：一般光阻製程、厚光阻製程
  • 蝕刻：KOH單晶矽非等向性蝕刻、TMAH單晶矽非等向性蝕刻、RIE乾式蝕刻
  • 量測儀器：光學干涉儀、橢圓測厚儀、nano spec.、α-stepper、四點探針、電子顯微鏡、Laser vibrometer、雷射光點分析儀(beam profiler)
  • 應用軟體：ANSYS、AutoCAD、L-edit、MEMCAD
  • 學術專長：
  • 微機電系統(MEMS)：光學微機電系統、面型薄膜製程技術、 SOI晶片製程之研究、微型掃描器、微光通訊元件
  • E-Mail：
  • eric_wu@chipsense.com.tw