微機電實驗室(Micro Device Laboratory,MDL)致力於發展跨領域應用的各種微機械系統,包括從設計、製造、封裝乃至於測試。不僅投身於學術上的研究,例如奈米與生醫技術、微系統的機械特性等等,也兼顧了工業上的應用,例如資訊、半導體產業以及各種慣性感測器的研發。截至目前為止,我們已成功開發了:
未來,我們更將努力於將平面製程技術運用於生醫與微機械系統的整合上,期望能做到系統封裝(System in Packaging,SIP)甚而達成系統晶片(System on Chip,SoC)的最終目的。
我們的研究方向包含了:
行程,以改善其性能,這些致動器也進一步和微結構整合,衍生出許多微光機元件之應用。
薄膜材料機械性質並著手建立相關的資料庫。因此利用前述激振及負載技術,同時開發微機械診斷(diagnostic)結構,然後透過不同的力學原理,成功地建立數種量測薄膜材料機械性質的技術,並將這些技術實際應用於功能性薄膜的特性量測。
西元1996年二月,老師來到清華園,其後,第一代弟子馨華、哲偉、弘毅先後拜入師門。據哲偉口述第一次見到老師的感覺「好像李遠哲!」,於是在舊工一館218室中,明星陣容的微機電系統實驗室於是成立。原是滿地垃圾,大小只有現在實驗室一半左右的舊工一館218室,在經過馨華費力掃除、細細擦拭地板後,開始了篳路藍縷的草創階段;剪貼壁報紙當窗簾,自倉庫搬來塵封已久的桌子得先費三個小時刷洗乾淨,購置第一台電腦(166)馨華還先後出征殺價三次。五月第一台顯微鏡進駐,成為早期大家可以說嘴的設備。
到了暑假,老師親身督導第一代弟子的學業。每週兩次,幽暗的燈光中師生四人圍坐,尚未購置投影機因而白紙黑字成為傳道授業解惑的媒介。另外,實驗室每週group meeting一次,每人均須報告所研讀的論文,曾經還在吐口水階段的兇悍小公主亦加入meeting陣容。NDL的課程三人快樂單車來去,開學後三人亦連袂遠赴原科系修習基礎光電。「絕不輕言放棄metting」自那時起已是本實驗室好寶寶守則第一條,1997年的寒假即使是宿舍要因春節來臨而中午關閉的那天,晚上的group meeting仍是如期舉行,使得馨華那天在宿舍內哭得老淚縱橫。