動態量測儀器

• LDV雷射都卜勒
  量測系統
• Polytec
• Shaker in-
  strument (LDS)
• Rate table
  instrument
• Lynceetec

靜態量測儀器

• 膜厚量測系統
• AFM
• 光學顯微鏡
• SEM
• LCR meter
  及探針台
• 網路分析儀
• 真空腔
• 白光干涉儀
• 紅外線熱像儀
• Manual Flip-Chip bonder
• 白光干涉儀(ZYGO)
• 雷射共軛焦顯微鏡(Keyence)
• 正立金相顯微鏡(Olympus)

製程儀器

• 化學氣相
  沈積系統
• Parylene
  沈積系統
• E gun
  真空鍍膜機
• 電鍍系統

紅外線熱像儀

• Feature: high performance thermal imaging camera
• Temperature range: 5 ℃ - 300 ℃, 300 ℃ - 500 ℃
• observation window size: about 1.5 mm × 1.0 mm
• Resolution: 3 μm
• Frame rate: 100 Hz

Manual Flip-Chip bonder

• Die size：2 mm × 2 mm, 1.5 mm × 1.5 mm
• Heating temperature：400 ℃
• Bonding force：0.1~30 N
• Alignment tolerance：1 μm