動態量測儀器
靜態量測儀器
- 膜厚量測系統
- AFM
- 光學顯微鏡
- SEM
- LCR meter
及探針台 - 網路分析儀
- 真空腔
- 白光干涉儀
- 紅外線熱像儀
- Manual Flip-Chip bonder
- 白光干涉儀(ZYGO)
- 雷射共軛焦顯微鏡(Keyence)
- 正立金相顯微鏡(Olympus)
製程儀器
- Probe head:
tapping mode, contact mode - Scan range:
Maximum lateral scan range: < 90um
Maximum vertical scan range: < 7.5um - Resolution:
Maximum lateral resolution: 0.25A
Maximum vertical resolution: 0.025A - Sample size:
50mm (w) × 50mm (l) × 20mm (h)
AFM (CP-II)
